集束イオンビーム装置 利用案内

○下記の設備は大学連携研究設備ネットワークへ登録されている全国学術機関共同利用装置です。

分類	機器名	メーカー・型式	設置場所	設備 管理者	簡易予約
その他	(先端) 集束イオン ビーム装置	セイコー インスツルメンツ SMI3050HS	大学院 先端物質科学 研究科	鈴木　仁	簡易予約 リンク

設備名	集束イオンビーム装置（FIB） （セイコーインスツルメンツ製・ SMI3500HS）
カテゴリ	走査型電子顕微鏡 (FIB)
仕様	Gaイオンを試料に照射し，試料の掘削加工，試料上への炭素系物質・タングステン系物質の堆積および二時電子像による観察ができます。 加速電圧：1kV～30kV ガス種：2種（炭素系，タングステン系） プログラム加工，連続自動加工，ベクター加工，TEM試料加工 空間分解能：4 nm(30KV)
設備の所属 設置場所	広島大学 先端物質科学研究科 量子機能材料科学研究室
設備管理者	鈴木 仁
公開範囲	設備NW参画73機関以外の国立大学法人・大学共同利用機関法人 その他研究・教育機関・公企業・私企業
利用受付	相互利用
備考	装置を初めて扱う利用者には、担当者が操作方法をお教え致します。 その他、FIBに関するお問い合わせがあれば担当者までご連絡下さい。

以下の案内に同意の上、ご利用下さい。

概要

○Gaイオンを試料に照射し，試料の掘削加工，試料上への炭素系物質・タングステン系物質の堆積および2次電子像による観察ができます。
○利用にあたり相互利用（直接測定）の予約は，大学共同利用機関法人・自然科学研究機構・分子科学研究所にて管理されている予約システム「大学連携研究設備ネットワーク」により行って下さい。
( 利用のための学内手続き をご参照下さい。)
○装置を初めて利用される方は、必ず担当者より講習を受けて下さい。講習を受けなければ装置の利用はできません。
まずは担当者にご連絡下さい。

相互利用（直接測定）

予約について

○利用時間に応じて次の予約時間設定があります。
（各種料金については上記設備の大学連携研究設備ネットワーク　利用可能研究設備詳細　利用料金にてご確認下さい。）
（祝日も予約可能です。＊センター業務の都合により予約不可能な場合があります）
○利用予定２時間前まではキャンセルが成立しますが，その後は原則100%のキャンセル料が発生しますので，ご注意下さい。

カードキーの貸し出しと返却

○実験室にオートロックおよび手動鍵が掛かっていますので，加工・測定(平日9:00～18:00（原則として）)を利用される際には，カードキーの貸し出しを行います。
○量子機能材料科学研究室においてカードキー，鍵の受け取りと返却を行って下さい。
○カードキー，鍵は終了時に返却して下さい。
○カードキーを紛失又は損傷した場合には，弁償を求めますので大事に保管して下さい。

利用について

○予約時間を厳守して下さい。
○FIB 使用申込書に必要事項を漏れなく，ご記入のうえ担当者までご提出下さい。（支払い責任者の印は不要です。）
○備え付けの使用簿に必要事項を漏れなく記入して下さい。
○装置にトラブルが発生した場合には，速やかに担当者へ申し出て下さい。
○過失による装置等の破損や不具合に対しては，修理費を請求することがありますので，ご了承下さい。

本使用規約は，変更されることがあります。

設備管理者の予約承認	必要
利用可能曜日	月火水木金、祝祭日は除きます。
利用可能時間帯	09 時から18時（原則として）まで
予約可能期間	31日後まで
予約制限	一週間のなかで，連続として3日までとする。
利用資格	操作方法の説明を受けている者、または操作方法の説明を受けている者と一緒に使用する者。
マシンタイム	時間指定 1時間
キャンセル料設定	予約している利用開始日時の2時間前から利用予定額の100 ％のキャンセル料金が発生します。
利用料金	直接測定   学外 2,500円 /1時間   学内 2,000円 /1時間   ガス銃使用料     カーボン　300円/1時間     タングステン 1,000円/1時間